レーザ薄膜除去装置

区分
設備
分類
ものづくり試作開発支援センター
メーカー
ビーム(株)
型式
マイクロマスター
仕様及び性能
レーザ出力 最大3W(10mJ×300Hz)
波長 248nm
投影倍率 4〜10倍
NCテーブル 200×200mm、ポイントデータと輪郭データプログラム 加工対象物 ポリイミドフィルム、無機薄膜、ガラス等への表面加工 プログラム
専用CAMはAUTOCADデータ、DXFデータ、TEXTデータが利用可能
 
※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。
用途
レーザの照射径を10μmまで絞って加工を行うことが可能です。紫外線波長域のレーザーを使用しているため素材への熱影響を抑えた加工を行うことができ、薄膜や回路の微小な除去に加えシリコンウェハやプラスチック等に微細加工が可能です。しかし、出力が小さいため貫通穴あけ加工には適しません。
導入年
1999年 
画像
料金
1790円/時間
設置場所
福島県ハイテクプラザ(郡山)
予約・連絡先
024-959-1738
備考
県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。