カーボン蒸着装置

区分
設備
分類
材料加工機器類
メーカー
日本電子(株)
型式
JEC-560
仕様及び性能
蒸着方式 抵抗過熱式
使用圧力 20Pa以下
カーボン電極 1組
使用カーボン棒 φ5.0mm 専用
蒸着電源 0〜5.5V、最大100A
試料台 直径64mm
真空チャンバ 外径120mm×高さ120mm、ガラス製
過電流保護回路 組込
排気系 直結形ロータリーポンプ 30L/min
(過温度保護機能組込)
所要電源 単相、AC100V、50/60Hz、800VA
寸法・質量 本体 350(W)×350(D)×282(H)mm、12kg
ロータリーポンプ 280(W)×120(D)×215(H)mm、10kg
設置条件 25℃±5℃

※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。
用途
本装置は、主に走査電子顕微鏡・電子プローブマイクロアナライザなどでの元素分析用カーボンコーティングを行う試料作製装置です。非導伝性試料等へのカーボンコーティングを、短時間に能率良く行うために使用されます。
導入年
2005年 
画像
料金
490円/時間
設置場所
福島技術支援センター
予約・連絡先
024-593-1122
備考
県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。