ICPエッチング装置

区分
設備
分類
材料加工機器類
メーカー
(株) エリオニクス
型式
EIS-700SI
仕様及び性能
最大出力:1kW
基板サイズ:φ6インチ
使用可能ガス:CF4、SF6、Ar、O2

※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。 
用途
エッチングによるSiウェハの微細加工等
導入年
1999年 
画像
料金
6230円/時間
設置場所
福島県ハイテクプラザ(郡山)
予約・連絡先
024-959-1738
備考
県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。