無機薄膜形成装置

区分
設備
分類
材料加工機器類
メーカー
アルバックテクノ
型式
アルバックテクノ
仕様及び性能
排気系:ターボ分子ポンプ280l/sec
RF出力:200W
ターゲット寸法:φ2インチ
基板ターゲット間距離:200mm

※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。
用途
スパッタリングによる金属薄膜等の成膜
基板ターゲット間距離が長いので、耐熱温度の低い基板にも成膜可能
導入年
1997年 
画像
料金
4830円/時間
設置場所
福島県ハイテクプラザ(郡山)
予約・連絡先
024-959-1738
備考
県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。