エリプソメーター

区分
設備
分類
物性試験機器類
メーカー
日本真空技術(株)
型式
ESM-1A
仕様及び性能
光源:He-Neレーザ 632.8nm 2mW
ステージ:φ6インチ
表示データ:プサイ、デルタ、屈折率、膜厚、吸収係数

※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。
用途
光学薄膜等の膜厚、屈折率等の測定
導入年
1997年 
画像
料金
700円/時間
設置場所
福島県ハイテクプラザ(郡山)
予約・連絡先
024-959-1738
備考
県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。