走査型レーザー顕微鏡

区分

設備

分類

寸法・形状測定機器類

メーカー

レーザーテック（株）

型式

HYBRID L3

仕様及び性能

光源 レーザー（λ＝405nm）/キセノン
対物レンズ 5×〜100×
視野 □3，000μm（5倍）〜□150μm（100倍）
ズーム機能 ×8倍
倍率 1850倍（対物レンズ100倍） （24インチモニタ上）
ステージ移動量 152×152mm（オートステージ）
Z軸走査範囲 7mm（駆動分解能0．4nm）
試料最大高さ 100mm
光測定機能　ノマルスキー微分干渉観察
解析機能 断面解析、面内解析、粗さ解析等

※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。

用途

用途 工業製品、部品等の表面（機械加工、表面処理、塗装、etc.）や微細形状の観察や寸法、形状測定。

導入年

2014年 

画像

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料金

3230円/時間

設置場所

福島県ハイテクプラザ（郡山）

予約・連絡先

024-954-4962

備考

県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。