露光機

区分
設備
分類
ものづくり試作開発支援センター
メーカー
ユニオン光学(株)
型式
PEM-800
仕様及び性能
マスクサイズ:4インチ角
光源:高圧水銀ランプ
アライメント:手動両面アライニング
露光方式:ハードコンタクト、プロキシミティ

※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。
用途
フォトリソグラフィーにおいてフォトマスクを通して紫外線を照射する。
導入年
1999年 
画像
料金
200円/時間
設置場所
福島県ハイテクプラザ(郡山)
予約・連絡先
024-959-1738
備考
県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。