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NO 名称 型式 料金(/時間)
1 レーザ薄膜除去装置 マイクロマスター 1760円
2 電子線描画装置 ELS-3700S 1700円
3 クリーンブース DCR-1000A 860円
4 超純水洗浄装置 HU-5100 470円
5 ワイヤーボンダ 7460A 270円
6 超微細放電加工装置 MG-ED82W 260円
7 露光機 PEM-800 200円