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名称
型式
料金(/時間)
1
電子線描画装置
ELS-3700S
1730円
2
ワイヤーボンダ
7460A
270円
3
超微細放電加工装置
MG-ED82W
270円
4
クリーンブース
DCR-1000A
880円
5
露光機
PEM-800
200円
6
超純水洗浄装置
HU-5100
480円
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福島県ハイテクプラザ(郡山)
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