RFスパッタ装置

区分
設備
分類
材料加工機器類
メーカー
(株)東栄科学産業
型式
SPT-4STD
仕様及び性能
排気系:ターボ分子ポンプ350l/sec
RF出力:500W
ターゲット寸法:φ4インチ
基板サイズ:最大φ75×0.5tmm

※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。
用途
スパッタリングによる金属薄膜等の成膜
導入年
2003年 
画像
料金
3550円/時間
設置場所
福島県ハイテクプラザ(郡山)
予約・連絡先
024-959-1738
備考
県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。