ICPエッチング用冷却・ガス切替え装置

区分
設備
分類
材料加工機器類
メーカー
(株)エリオニクス
型式
 
仕様及び性能
・PC制御により、ICPエッチング装置(EIS-700)のガス種、流量、プラズマ出力等の条件設定が行えます。
・-15℃の冷却媒体を流し、ステージを冷却することができます。

※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。
用途
エッチング中にガスを切り替えることにより、エッチングと保護膜形成を交互行い、シリコンを垂直に加工することができる。
導入年
2014年 
画像
料金
3250円/時間
設置場所
福島県ハイテクプラザ(郡山)
予約・連絡先
024-959-1738
備考
県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。