走査型電子顕微鏡

区分

設備

分類

分析機器類

メーカー

（株）日立ハイテクノロジーズ

型式

SU1510

仕様及び性能

分解能　SE像　3.0nm （加速電圧30kV）、15nm（加速電圧3kV）
BSE像　4.0nm
倍率×5〜×300，000倍
光源　タングステンフィラメント
加速電圧 0.3KV〜30KV
真空状態　低真空（30Pa）、高真空
可動範囲　X：0-80mm，Y:0-40mm，Z:5-50mm，R軸　360°、傾斜度　-20°〜90°
最大試料サイズ　153mm径、高さ32mm

※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。

用途

二次電子像（SE）または反射電子像（BSE）による高倍率観察。EDAXによる定性分析、半定量分析。マッピング。

導入年

2012年 

画像

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料金

6140円/時間

設置場所

福島県ハイテクプラザ（郡山）

予約・連絡先

024-959-1738

備考

県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。