走査型電子顕微鏡

区分
設備
分類
分析機器類
メーカー
(株)日立ハイテクノロジーズ
型式
SU1510
仕様及び性能
分解能 SE像 3.0nm (加速電圧30kV)、15nm(加速電圧3kV)
BSE像 4.0nm
倍率×5〜×300,000倍
光源 タングステンフィラメント
加速電圧 0.3KV〜30KV
真空状態 低真空(30Pa)、高真空
可動範囲 X:0-80mm,Y:0-40mm,Z:5-50mm,R軸 360°、傾斜度 -20°〜90°
最大試料サイズ 153mm径、高さ32mm

※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。
用途
二次電子像(SE)または反射電子像(BSE)による高倍率観察。EDAXによる定性分析、半定量分析。マッピング。
導入年
2012年 
画像
料金
6140円/時間
設置場所
いわき技術支援センター
予約・連絡先
0246-44-1475
備考
県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。