電子線描画装置制御システム

区分
設備
分類
材料加工機器類
メーカー
(株)ELIONIX
型式
ELS-3700
電子線描画装置制御システム
仕様及び性能
電子線描画装置ELS-3700を制御可能
4インチ角および4インチ丸の基板を用いて
60mm×90mmの領域に描画可能
直接パターンデータを設計することが可能
 
※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。
用途
Windows7上から電子線描画装置を制御し、電子ビームによる微細パターンの描画を行うことが可能です。
導入年
2015年 
画像
料金
2290円/時間
設置場所
福島県ハイテクプラザ(郡山)
予約・連絡先
024-959-1738
備考
県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。