走査型レーザー顕微鏡

区分
設備
分類
寸法・形状測定機器類
メーカー
レーザーテック(株)
型式
HYBRID L3
仕様及び性能
光源 レーザー(λ=405nm)/キセノン
対物レンズ 5×〜100×
視野 □3,000μm(5倍)〜□150μm(100倍)
ズーム機能 ×8倍
倍率 1850倍(対物レンズ100倍) (24インチモニタ上)
ステージ移動量 152×152mm(オートステージ)
Z軸走査範囲 7mm(駆動分解能0.4nm)
試料最大高さ 100mm
光測定機能 ノマルスキー微分干渉観察
解析機能 断面解析、面内解析、粗さ解析等

※上記の仕様・性能は、カタログからの引用等ですので、実際に測定・試験ができる試料や測定物の種類・大きさ・形状等につきましては、担当職員までご確認ください。
用途
用途 工業製品、部品等の表面(機械加工、表面処理、塗装、etc.)や微細形状の観察や寸法、形状測定。
導入年
2014年 
画像
料金
3230円/時間
設置場所
福島県ハイテクプラザ(郡山)
予約・連絡先
024-959-1738
備考
県外企業は料金が2倍となります。詳しくは担当職員までご確認ください。