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新規導入した走査型電子顕微鏡について(場所 : いわき技術支援センター)

 ハイテクプラザいわき技術支援センターに (株) 日立ハイテクノロジーズ社製の走査型電子顕微鏡SU1510を導入しました。
 この装置は通常の高真空下での反射電子像・二次電子像観察に加えて低真空下での反射電子像観察にも対応しており、樹脂やセラミック、ガラス等の非導電性サンプルもそのままの状態で観察が行えます。
 分析装置としてEDAX社製のシリコンドリフト検出器を備えており、高真空・低真空のいずれでも元素分析を行うことが可能です。
 また、表面および断面の加工が可能なイオンミリング装置も導入しており、これまでに前処理の難しかった繊維や軟質金属などの試料に対して、高度な試料前処理が可能となっています。


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